試驗檢驗分為前期檢驗、過程檢驗、最終檢驗。前期檢驗主要檢查計量證書時間的有效性,確保設備精度在有效期內。過程檢驗主要檢查測量視野及軟件精度控制。最終檢驗主要檢查計算結果及設備精度。
前期檢驗
試驗前需檢驗標定板的精度,確保標定板精度有效。標定板的檢驗通常在第三方計量機構(如計量院)進行,確保精度可溯源。標定板證書有效期為一年。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
測量標定板對角線編碼點的圓心距離 |
光學三坐標測量機 |
一年一次 |
圖:標定板計量內容
實驗前需確保設備精度在有效期內,設備的計量檢驗通常在第三方計量機構(如計量院)進行,確保精度可溯源。精度計量報告有效期為一年。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
在氣浮導軌平臺上粘貼靶標點或散斑圖案,將氣浮導軌移動一個位移值,將本設備的測量結果與激光干涉儀的測量結果進行對比,偏差在0.01mm以內。 |
激光干涉儀及氣浮導軌平臺 |
一年一次 |
圖:測量示意圖
過程檢驗
對測量視野進行檢驗,確保測量視野滿足要求,能夠覆蓋樣品觀測區域。測量視野=相機芯片尺寸*測量距離/鏡頭焦距,通過調節測量距離即可獲取合適的測量視野??蓪y量視野看做是設備的固有屬性,只需檢驗一次即可。實驗過程中可目測檢驗,即測量視野完全覆蓋樣品區域。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
將設備架設到合適的測量距離,將卷尺放置于視野內,量取視野X方向、Y方向長度。 |
卷尺或鋼尺 |
設備固有屬性,檢驗一次即可。 |
圖:測量視野檢驗
對測量視野景深進行檢驗,確保樣品Z向變形或移動,在相機視野內成像依舊清晰。景深的大小與鏡頭光圈值、鏡頭焦距、測量距離等有關,若固定光圈值,可將景深看做是設備的固有屬性,只需檢驗一次即可,若甲方對景深存有疑慮,也可每次搭建起設備測量一次。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
采用直線導軌進行檢驗,在直線導軌端面粘貼靶標點或散斑圖案,將端面正對相機沿Z向移動一定的位移,觀測移動過程中散斑圖像的清晰度,并將本設備計算的Z向位移與卷尺量取的導軌移動位移進行對比。 |
直線導軌、卷尺 |
檢驗一次即可,或每次調整過相機、鏡頭后檢驗一次。 |
圖:測量示意圖
標定精度對實驗結果起著至關重要的作用,實驗時需對標定精度進行檢驗。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
按標定步驟進行相機標定,標定誤差在0.05像素以內表示合格 |
無 |
若相機相對位置不變,一天一次;若相機相對位置變動或調節過鏡頭焦距光圈或更換鏡頭,立即標定檢驗。 |
圖:標定結果
在樣品表面制備散斑圖案,并將樣品加持到實驗裝置后,相機拍攝樣品靜態圖片,分析靜態位移跳動。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
分析樣品鏡頭位移跳動數據,全場位移靜態跳動值在0.01mm以內。 |
無 |
每標定一次,檢驗一次 |
圖:靜態位移數據
最終檢驗
實驗結束后對數據進行后處理計算,檢驗計算結果的sigma。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
檢驗計算結果的sigma值,sigma值在0.05像素以內表示合格 |
無 |
每組實驗檢驗一次 |
采用引伸計標定儀或高精度位移計,將測量結果與真值進行比較,檢驗絕對誤差。
|
檢驗方法 |
檢驗器具 |
檢驗頻度 |
|
將引伸計標定儀或高精度位移計移動一個位移值,作為真值,本設備測量結果與真值進行比較。 |
引伸計標定儀或高精度位移計 |
每半年檢驗一次或對數據存疑時立即檢驗。 |
圖:測量結果